Reduction Of Backside Particle Induced Out-Of-Plane Distortions in Semiconductor Wafers

WO2016172242 Art A1 27. Oktober 2016

Anmelder: Board of Regents, The University of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016172242
Aktenzeichen: EP16783789
Anmeldetag: 20. April 2016
Veröffentlichung: 27. Oktober 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L23/48H01L29/41G01R1/067

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Board of Regents, The University of Texas System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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