Manufacturing method and manufacturing device of template substrate
WO2016175096
Art A1
3. November 2016
Anmelder: National Institute for Materials Science, Comet, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016175096
- Aktenzeichen
- EP16786373
- Anmeldetag
- 20. April 2016
- Veröffentlichung
- 3. November 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C30B23/08C23C14/06C23C14/34C23C14/58C30B1/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- National Institute for Materials Science
Comet, Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National Institute for Materials Science
Japanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Tsukuba, das auf Materialwissenschaft und Werkstoffforschung spezialisiert ist.
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