Metrology system, method, and computer program product employing automatic transitioning between utilizing a library and utilizing regression for measurement processing
WO2016176647
Art A1
3. November 2016
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016176647
- Aktenzeichen
- EP16787276
- Anmeldetag
- 29. April 2016
- Veröffentlichung
- 3. November 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/956
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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