Thin film and method for forming thin film

WO2016178406 Art A1 10. November 2016

Anmelder: Keio University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016178406
Aktenzeichen
EP16789542
Anmeldetag
28. April 2016
Veröffentlichung
10. November 2016
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/505B32B5/14H05H1/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Keio University
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Keio University

Die Keio University ist eine private Universität in Tokio, Japan, die in zahlreichen Fachrichtungen von Wirtschaft bis Ingenieurwissenschaften lehrt und forscht.

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