Method of manufacturing a layer for display manufacturing using water vapor and apparatus therefore

WO2016180445 Art A1 17. November 2016

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016180445
Aktenzeichen: EP15723000
Anmeldetag: 8. Mai 2015
Veröffentlichung: 17. November 2016
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/08C23C14/54C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von