Method of manufacturing a layer for display manufacturing using hydrogen and apparatus therefore

WO2016180447 Art A1 17. November 2016

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016180447
Aktenzeichen
EP15723878
Anmeldetag
8. Mai 2015
Veröffentlichung
17. November 2016
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/08C23C14/34C23C14/54
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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