Silicon epitaxial wafer and method for producing same

WO2016181787 Art A1 17. November 2016

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016181787
Aktenzeichen
EP16792512
Anmeldetag
21. April 2016
Veröffentlichung
17. November 2016
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06H01L21/20H01L21/322
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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