Polishing pads and systems for and methods of using same

WO2016183126 Art A1 17. November 2016

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016183126
Aktenzeichen: EP16793393
Anmeldetag: 11. Mai 2016
Veröffentlichung: 17. November 2016
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/20B24B7/20B24D3/00B24D11/00H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: 3M Innovative Properties Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 3M Innovative Properties

US-amerikanische Tochtergesellschaft des Mischkonzerns 3M, verwaltet Patente und geistiges Eigentum für Produkte aus Bereichen Klebetechnik, Materialwissenschaft und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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