Photocathode including field emitter array on a silicon substrate with boron layer

WO2016187603 Art A1 24. November 2016

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016187603
Aktenzeichen: EP16797428
Anmeldetag: 21. Mai 2016
Veröffentlichung: 24. November 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01J31/50H01J29/38H01J31/26H01J1/34G02B21/12H01L27/146H01L27/148

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA - Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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