Lighting device for exposure, exposure apparatus and exposure method

WO2016190381 Art A1 1. Dezember 2016

Anmelder: V Technology Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016190381
Aktenzeichen: EP16800085
Anmeldetag: 26. Mai 2016
Veröffentlichung: 1. Dezember 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B3/00G02B19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: V Technology Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 V Technology

V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.

349 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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