Object holding device, exposure device, method for manufacturing flat panel display, and method for manufacturing device

WO2016190423 Art A1 1. Dezember 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016190423
Aktenzeichen: EP16800127
Anmeldetag: 27. Mai 2016
Veröffentlichung: 1. Dezember 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20B65G49/06H01L21/677H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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