Optical thin film manufacturing method and optical film manufacturing method

WO2016190429 Art A1 1. Dezember 2016

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016190429
Aktenzeichen: EP16800133
Anmeldetag: 27. Mai 2016
Veröffentlichung: 1. Dezember 2016
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/24C23C14/08G02B5/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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