Spectral feature metrology of a pulsed light beam

WO2016191114 Art A1 1. Dezember 2016

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016191114
Aktenzeichen: EP16800493
Anmeldetag: 12. Mai 2016
Veröffentlichung: 1. Dezember 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01J1/42G01J3/28G01J11/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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