High-speed hotspot or defect imaging with a charged particle beam system

WO2016191482 Art A1 1. Dezember 2016

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016191482
Aktenzeichen: EP16800665
Anmeldetag: 25. Mai 2016
Veröffentlichung: 1. Dezember 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/225H01J31/54G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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