Sondensystem und Verfahren zum Aufnehmen einer Sonde eines Rastersondenmikroskops

WO2016193331 Art A1 8. Dezember 2016

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016193331
Aktenzeichen: EP16732953
Anmeldetag: 2. Juni 2016
Veröffentlichung: 8. Dezember 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01Q70/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von