Substrate transfer method and substrate transfer device
WO2016199224
Art A1
15. Dezember 2016
Anmelder: Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016199224
- Aktenzeichen
- EP15894909
- Anmeldetag
- 9. Juni 2015
- Veröffentlichung
- 15. Dezember 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Yaskawa Electric
Yaskawa Electric Corporation ist ein japanischer Hersteller von Industrierobotern, Servomotoren und Antriebstechnik mit Sitz in Kitakyushu.
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