Winding-type film deposition device, evaporation source unit, and winding-type film deposition method
WO2016199728
Art A1
15. Dezember 2016
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016199728
- Aktenzeichen
- EP16807435
- Anmeldetag
- 6. Juni 2016
- Veröffentlichung
- 15. Dezember 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
1.137 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.