Ion implanting device

WO2016199916 Art A1 15. Dezember 2016

Anmelder: Sumitomo Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016199916
Aktenzeichen: EP16807621
Anmeldetag: 10. Juni 2016
Veröffentlichung: 15. Dezember 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/317H01L21/265

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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