Mems inertial measurement apparatus having slanted electrodes for quadrature tuning

WO2016201413 Art A1 15. Dezember 2016

Anmelder: Georgia Tech Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016201413
Aktenzeichen: EP16808505
Anmeldetag: 13. Juni 2016
Veröffentlichung: 15. Dezember 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01P15/125G01D5/20G01P21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Georgia Tech Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Georgia Tech Research Corporation

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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