Control system, positioning system, lithographic apparatus and device manufacturing method

WO2016202519 Art A1 22. Dezember 2016

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016202519
Aktenzeichen: EP16725457
Anmeldetag: 19. Mai 2016
Veröffentlichung: 22. Dezember 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G05B11/14G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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