Metal oxide film formation method

WO2016203594 Art A1 22. Dezember 2016

Anmelder: Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation, Kyoto University, Kochi Prefectural Public University Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016203594
Aktenzeichen
EP15895614
Anmeldetag
18. Juni 2015
Veröffentlichung
22. Dezember 2016
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/455C23C16/40C23C16/44H01L21/31H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Kyoto University
Kochi Prefectural Public University Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation

Japanisches Gemeinschaftsunternehmen von Toshiba und Mitsubishi Electric für industrielle Antriebssysteme, Motoren und Automatisierungstechnik.

556 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Kyoto University

Renommierte japanische Universität mit breiter Grundlagenforschung in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.

1.706 Patente in unserer Datenbank

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