Pattern drawing device and pattern drawing method

WO2016204267 Art A1 22. Dezember 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016204267
Aktenzeichen: EP16811741
Anmeldetag: 17. Juni 2016
Veröffentlichung: 22. Dezember 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/12G02B26/10G03F7/20H04N1/113

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Nachrichtentechnik & Telekommunikation Optik & Fototechnik

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