2d tunable nanosphere lithography of nanostructures
WO2016205610
Art A1
22. Dezember 2016
Anmelder: University of Florida Research Foundation, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016205610
- Aktenzeichen
- EP16812501
- Anmeldetag
- 17. Juni 2016
- Veröffentlichung
- 22. Dezember 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B81C1/00H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- University of Florida Research Foundation, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of Florida Research Foundation
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