Sizing device, grinding device, and grinding method

WO2016208101 Art A1 29. Dezember 2016

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016208101
Aktenzeichen
EP16813878
Anmeldetag
17. März 2016
Veröffentlichung
29. Dezember 2016
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304B24B37/013B24B37/07B24B49/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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