Double-frequency power-driven inductively coupled plasma torch, and apparatus for generating nanoparticle using same

WO2016209007 Art A1 29. Dezember 2016

Anmelder: Korea Institute of Machinery & Materials, Industrial Cooperation Foundation Of Chonbuk National University 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016209007
Aktenzeichen: EP16814720
Anmeldetag: 23. Juni 2016
Veröffentlichung: 29. Dezember 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/26B22F9/14H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Korea Institute of Machinery & Materials
Industrial Cooperation Foundation Of Chonbuk National University
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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