Pulsed Light Beam Spectral Feature Control

WO2016209669 Art A1 29. Dezember 2016

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016209669
Aktenzeichen: EP16815063
Anmeldetag: 14. Juni 2016
Veröffentlichung: 29. Dezember 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/10H01S3/104H01S3/125H01S3/134

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von