Aberration correction method, aberration correction system, and charged particle beam device

WO2017002243 Art A1 5. Januar 2017

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017002243
Aktenzeichen: EP15897170
Anmeldetag: 1. Juli 2015
Veröffentlichung: 5. Januar 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/153

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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