Non-contact power supply system

WO2017002340 Art A1 5. Januar 2017

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017002340
Aktenzeichen
EP16817451
Anmeldetag
23. Juni 2016
Veröffentlichung
5. Januar 2017
Rechtsraum
WO
IPC
H02J50/05B25J15/06B25J19/00B65G49/07H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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