Method and apparatus for processing workpieces

WO2017011089 Art A1 19. Januar 2017

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017011089
Aktenzeichen: EP16824851
Anmeldetag: 3. Juni 2016
Veröffentlichung: 19. Januar 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L31/18H01L31/0236H01L31/0288H05B1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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