Wet etching method and etching solution

WO2017013988 Art A1 26. Januar 2017

Anmelder: Central Glass Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017013988
Aktenzeichen: EP16827552
Anmeldetag: 22. Juni 2016
Veröffentlichung: 26. Januar 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/308C23F1/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Central Glass Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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