Encoder device, drive device, stage device, robot device, and information acquisition method

WO2017014142 Art A1 26. Januar 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017014142
Aktenzeichen: EP16827702
Anmeldetag: 14. Juli 2016
Veröffentlichung: 26. Januar 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01D5/26G01B11/26G01D5/347

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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