Encoder device, drive device, stage device, robot device, rotation information acquisition method, and rotation information acquisition program

WO2017014189 Art A1 26. Januar 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017014189
Aktenzeichen: EP16827749
Anmeldetag: 15. Juli 2016
Veröffentlichung: 26. Januar 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01D5/244B25J19/02G01D5/347

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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