Inert anode electroplating processor and replenisher

WO2017014944 Art A1 26. Januar 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017014944
Aktenzeichen
EP16828209
Anmeldetag
5. Juli 2016
Veröffentlichung
26. Januar 2017
Rechtsraum
WO
IPC
C25D17/00C25D7/12C25D3/38H01L21/288C25D21/10C25D17/10C25B1/04C25B15/08C25C1/12C25D21/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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