Process for etching hard materials

WO2017016997 Art A1 2. Februar 2017

Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES, Arnano 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017016997
Aktenzeichen: EP16741334
Anmeldetag: 22. Juli 2016
Veröffentlichung: 2. Februar 2017
Rechtsraum: WO
IPC: B81C1/00H01L21/033H01L41/332

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
Arnano
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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