Automated metrology system selection

WO2017019341 Art A1 2. Februar 2017

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017019341
Aktenzeichen: EP16831047
Anmeldetag: 15. Juli 2016
Veröffentlichung: 2. Februar 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G02B21/00G01N21/17G01N21/01

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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