Size detection method for photolithographic pattern

WO2017020348 Art A1 9. Februar 2017

Anmelder: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co. Ltd., Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017020348
Aktenzeichen
EP15900122
Anmeldetag
18. August 2015
Veröffentlichung
9. Februar 2017
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co. Ltd.
Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 China Star Optoelectronics (CSOT)

Chinesischer Displayhersteller mit Sitz in Shenzhen, Tochtergesellschaft des TCL-Konzerns. CSOT entwickelt und produziert LCD- und OLED-Panels für Fernseher, Monitore und mobile Endgeräte.

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