Method for analysing organic impurities on the surface of a substrate, and system for analysing organic impurities on the surface of a substrate

WO2017021611 Art A1 9. Februar 2017

Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017021611
Aktenzeichen: EP16757689
Anmeldetag: 19. Juli 2016
Veröffentlichung: 9. Februar 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/94G01N1/02G01N1/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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