Controlled Fluid Flow For Cleaning an Optical Element

WO2017023950 Art A2 9. Februar 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017023950
Aktenzeichen: EP16758314
Anmeldetag: 2. August 2016
Veröffentlichung: 9. Februar 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇺🇸 USA

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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