Inspection apparatus, inspection method and manufacturing method

WO2017025373 Art A1 16. Februar 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017025373
Aktenzeichen: EP16753857
Anmeldetag: 1. August 2016
Veröffentlichung: 16. Februar 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/84G01N21/956G03F7/20G02B21/36G03F1/24G21K7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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