Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung Dünner Schichten

WO2017025554 Art A1 16. Februar 2017

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017025554
Aktenzeichen: EP16756639
Anmeldetag: 10. August 2016
Veröffentlichung: 16. Februar 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/08C23C14/24C23C14/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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