Plasma Generator

WO2017025709 Art A1 16. Februar 2017

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017025709
Aktenzeichen: EP16744512
Anmeldetag: 26. Juli 2016
Veröffentlichung: 16. Februar 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Edwards Limited
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

Vertreten von