Systems and methods for stabilization of droplet-plasma interaction via laser energy modulation

WO2017027636 Art A1 16. Februar 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017027636
Aktenzeichen: EP16835864
Anmeldetag: 10. August 2016
Veröffentlichung: 16. Februar 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00H05H1/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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