Electrostatic Chuck Heater

WO2017029876 Art A1 23. Februar 2017

Anmelder: NGK Insulators, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017029876
Aktenzeichen: EP16836868
Anmeldetag: 20. Juni 2016
Veröffentlichung: 23. Februar 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H05B3/20H01L21/683H05B3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NGK Insulators, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von