Apparatus for forming crystalline sheet from a melt

WO2017030833 Art A1 23. Februar 2017

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017030833
Aktenzeichen: EP16837509
Anmeldetag: 9. August 2016
Veröffentlichung: 23. Februar 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C30B11/00C30B11/04C30B29/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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