Adaptive Electric Field Shielding in an Electroplating Processor Using Agitator Geometry And Motion Control

WO2017031063 Art A1 23. Februar 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017031063
Aktenzeichen: EP16837657
Anmeldetag: 15. August 2016
Veröffentlichung: 23. Februar 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C25D17/00C25D21/10C25D5/08C25D5/02C25D17/06H01L21/288

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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