Lorentz actuator, object positioning system, lithographic apparatus and lorentz actuator operating method

WO2017032540 Art A1 2. März 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017032540
Aktenzeichen: EP16744413
Anmeldetag: 28. Juli 2016
Veröffentlichung: 2. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H02K41/03H01F7/06H02K41/035H02K15/03H02K29/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von