Anordnung einer Vorrichtung zum Schutz eines in einer Objektebene Anzuordnenden Retikels gegen Verschmutzung

WO2017032896 Art A1 2. März 2017

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017032896
Aktenzeichen: EP16758150
Anmeldetag: 26. August 2016
Veröffentlichung: 2. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/62G03F7/20G02B5/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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