Piezoelectric linear actuator, piezoelectrically driven valve, and flow rate control device

WO2017033423 Art A1 2. März 2017

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017033423
Aktenzeichen: EP16838774
Anmeldetag: 9. August 2016
Veröffentlichung: 2. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H02N2/04F16K31/02H01L41/053H01L41/083H01L41/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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