Laser scan sequencing and direction with respect to gas flow

WO2017034807 Art A1 2. März 2017

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017034807
Aktenzeichen: EP16839798
Anmeldetag: 10. August 2016
Veröffentlichung: 2. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/88G01N1/22G01N11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Electro Scientific Industries, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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