Method for fabricating high aspect ratio gratings for phase contrast imaging

WO2017036729 Art A1 9. März 2017

Anmelder: Paul Scherrer Institut 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017036729
Aktenzeichen: EP16750750
Anmeldetag: 4. August 2016
Veröffentlichung: 9. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/18B82Y10/00B82Y40/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Paul Scherrer Institut
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 PAUL Scherrer Institut

Das Paul Scherrer Institut ist das größte Forschungszentrum für Natur- und Ingenieurwissenschaften der Schweiz mit Sitz in Villigen und Anbindung an Großforschungsanlagen wie Synchrotron und Freie-Elektronen-Laser. Die Patente betreffen vor allem Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiterelemente, ergänzt um Medizintechnik, Verfahrenstechnik und Optik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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